KLA TENCOR CORP

|former_name= |website= |footnotes=

KLA Corporation — американська компанія зі штаб-квартирою в Мілпітас, штат Каліфорнія, яка виробляє обладнання для виготовлення напівпровідникових пластин. Вона постачає системи контролю процесів та управління виходом продукції для напівпровідникової промисловості та інших суміжних галузей наноелектроніки. Продукти та послуги компанії призначені для всіх фаз виробництва пластин, фотомасок, інтегральних схем (ІС) та пакування: від науково-дослідних і дослідно-конструкторських робіт до кінцевого серійного виробництва.

Історія

KLA Instruments була заснована в 1975 році Кеном Леві та Бобом Андерсоном і зосередилася на виявленні дефектів фотомасок для ідентифікації дефектів чіпів. Пізніше KLA розширила свою продуктову лінію, включивши інспекцію пластин, метрологію пластин та інтегроване програмне забезпечення для інспекції й аналізу.

Tencor була заснована в 1976 році чехословацьким вченим та іммігрантом до США Карелом Урбанеком разом із колегою Джоном Швабахером. Спочатку компанія зосередилася на точних вимірюваннях товщини шару напівпровідникової плівки, а в 1984 році розробила технологію лазерного сканування для виявлення частинок та інших забруднень. Компанія також розробила обладнання для перегляду дефектів та аналізу даних. На момент злиття сукупний річний дохід компаній перевищував 1 мільярд доларів США.

KLA Corporation була утворена в 1997 році як KLA-Tencor в результаті злиття KLA Instruments та Tencor Instruments — двох компаній у галузі виробництва напівпровідникового обладнання та систем управління виходом продукції. Метою злиття було створення єдиного постачальника обладнання для діагностики та контролю процесів виробництва чіпів.

У лютому 1998 року KLA-Tencor придбала компанію Nanopro GmbH зі Фрайбурга (Німеччина), яка використовувала передові інтерферометричні технології для вимірювання форми та товщини пластин. У квітні компанія придбала Amray, Inc., постачальника систем растрових електронних мікроскопів (РЕМ) з Бедфорда (штат Массачусетс) для застосування, включаючи виробництво напівпровідників. У червні компанія придбала VARS з Сан-Хосе (штат Каліфорнія), розробника систем архівування та пошуку зображень. У листопаді KLA-Tencor придбала лінійку продуктів для моніторингу оксидів Quantox у вимірювальної та приладобудівної компанії Keithley Instruments з Солона (штат Огайо). У грудні компанія придбала дочірню компанію Ultrapointe корпорації Uniphase.

У грудні 1999 року компанія придбала тайванського розробника програмного забезпечення для аналізу виходу продукції ACME Systems.

У лютому 2000 року KLA-Tencor придбала Finle Technologies, Inc. з Остіна (штат Техас), розробника програмного забезпечення для моделювання та аналізу літографії. У березні компанія придбала розробника програмного забезпечення для передового контролю процесів (APC) Fab Solutions з Остіна (штат Техас) у материнської компанії ObjectSpace.

У 2001 році компанія придбала компанію з управління виходом та контролю процесів Phase Metrics, Inc.

У 2004 році KLA-Tencor придбала виробника систем інспекції поверхні Candela Instruments, Inc. та підрозділ Wafer Inspection Systems компанії Inspex, Inc.

У 2006 році компанія придбала ADE Corporation, постачальника метрологічного обладнання для кремнієвих пластин та супутнього обладнання.

У 2007 році KLA-Tencor придбала виробника продукції для літографії та плазмового травлення OnWafer Technologies, компанію з моніторингу температури SensArray Corporation та компанію з контролю процесів і метрології Therma-Wave Corporation.

У 2008 році компанія придбала компанію з тестування та вимірювання ICOS Vision Systems Corporation NV, та підрозділ Microelectronic Inspection Equipment (MIE) компанії Vistec Semiconductor Systems, Inc.

У 2010 році KLA-Tencor придбала компанію з виробництва технологічного обладнання Ambios Technology, Inc.

У 2014 році компанія придбала компанію з обчислювальної літографії та інспекції Luminescent Technologies, Inc.

У 2017 році компанія придбала компанію з оптичного профілювання та інспекції Zeta Technologies Co. Ltd.

У 2018 році KLA-Tencor придбала лінійку продуктів Nano Indenter у Keysight Technologies. Компанія також придбала Nanomechanics Inc. та MicroVision.

У березні 2018 року KLA-Tencor оголосила про угоду щодо придбання постачальника обладнання для автоматизованої оптичної інспекції Orbotech з Явне (Ізраїль) приблизно за 3,4 мільярда доларів США. Orbotech також володіла британською компанією SPTS Technologies Ltd з Ньюпорта (Уельс), яка виробляє обладнання для травлення, PVD та CVD обробки пластин для МЕМЗ, передового пакування, світлодіодів, високочастотних RF та пристроїв керування живленням.

10 січня 2019 року KLA-Tencor оголосила про зміну назви на KLA Corporation. У лютому компанія оголосила про завершення придбання Orbotech. Зміна назви компанії набула чинності в липні 2019 року. У червні KLA оголосила про плани відкрити другу штаб-квартиру в США поблизу Енн-Арбора (штат Мічиган). Відкриття закладу було заплановано на літо 2021 року, планувалося працевлаштувати 500-600 нових співробітників, близько 50% з яких мали бути інженерами. Повідомлялося, що заклад матиме зв'язки з Мічиганським університетом та підтримуватиме партнерство з автомобільною промисловістю.

У серпні 2019 року KLA-Tencor придбала компанію Qoniac GmbH, німецьку програмну компанію, що спеціалізується на програмному забезпеченні для контролю процесів у напівпровідниковій промисловості.

У липні 2021 року компанія представила нові інспекційні продукти для автомобільних чіпів. У листопаді нова північноамериканська штаб-квартира KLA відкрилася поблизу Енн-Арбора (штат Мічиган). Площа об'єкта становить 230 000 квадратних футів, він розрахований на 1000 співробітників.

Скандал із заднім датуванням опціонів на акції

У січні 2008 року KLA виплатила 65 мільйонів доларів США, щоб врегулювати звинувачення в тому, що компанія та певні керівники незаконно змінювали дати надання опціонів на акції заднім числом. Комісія з цінних паперів і бірж США заявила, що «KLA значно завищила свої повідомлені фінансові результати, позбавивши інвесторів точної інформації про витрати компанії на компенсацію та фінансові показники. Особливо тривожним є те, що публічна компанія займається таким правопорушенням навіть після того, як її попередили, що така практика є неприпустимою».

Фонд KLA

Фонд KLA (спочатку Фонд KLA-Tencor) є філантропічним підрозділом компанії та був заснований у 2000 році. Фонд KLA підтримує та приносить користь глобальним спільнотам, у яких живуть співробітники KLA, наприклад, робить пожертви шкільному округу Мілпітас, Американському Червоному Хресту та Коаліції допомоги від COVID-19 Silicon Valley Leadership Group.