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ファンダメンタルズ動向

企業概要

Lam Research Corporationは、米国、中国、韓国、台湾、日本、東南アジア、ヨーロッパにおける集積回路の製造に使用される半導体製造装置の設計、製造、販売、再生、およびサービスを行っています。同社は、タングステンまたはモリブデン金属化用途向けのコンフォーマルまたは選択的膜堆積用のALTUSシステム、銅相互接続遷移用のSABRE電気化学堆積製品（銅ダマシン製造を提供）、SPEEDギャップフィル高密度プラズマ化学気相堆積（CVD）製品、誘電膜ソリューション用のStriker単一ウェーハ原子層堆積製品、およびVECTORプラズマ強化CVD製品を提供しています。また、誘電エッチング用途向けのFlex、Equipment Intelligenceソリューションによって実現されるRFテクノロジーと再現可能なウェーハ間パフォーマンスを提供する誘電エッチングシステムであるVantex、導体エッチング用途向けのKiyo、シリコン貫通ビアエッチング用途向けのSyndion、および金属エッチングプロセス用のVersys金属製品も提供しています。さらに、ダイ収率を向上させるためのCoronusベベルクリーン製品、さまざまなウェーハクリーニング用途に対応するDa Vinci、DV-Prime、EOS、およびSPシリーズ製品も提供しています。さらに、Reliant堆積、エッチング、クリーニング製品、Sense.iプラットフォーム製品、およびカスタマーサービス、スペアパーツ、アップグレードも提供しています。Lam Research Corporationは1980年に法人化され、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いています。