KLA TENCOR CORP

KLAコーポレーション（英語: KLA Corporation）は、カリフォルニア州ミルピタスに本拠を置く、ウェハー半導体製造装置を製造するアメリカ合衆国の企業。半導体産業および関連するナノエレクトロニクス産業向けに、プロセス制御および歩留まり管理システムを供給している。同社の製品とサービスは、研究開発から最終的な量産製造に至るまで、ウェハー、レチクル、集積回路（IC）、およびパッケージング製造のあらゆる段階を対象としている。

概要

半導体検査測定装置において世界トップシェアの企業である。製品カテゴリ別でみると、ウェーハ欠陥検査装置で圧倒的シェアを誇るほか、薄膜計測装置、リソグラフィ計測装置、オーバーレイ計測装置で高いシェアを有する。また、光学検査装置はEUVを使って製造される5nmのほぼ全てのレチクル（フォトマスク）の検査で使用されている。

事業は、「半導体プロセス制御」、「特殊半導体プロセス」、「PCB、ディスプレイ、コンポーネント検査」の3つのセグメントで構成されていおり、売上の9割は半導体プロセス制御部門によるものである。

KLAコーポレーションは、半導体装置および歩留まり管理システム業界の2社、KLAインスツルメンツ（KLA Instruments）とテンコール・インスツルメンツ（Tencor Instruments）の合併により、1997年にKLAテンコールとして設立された。この合併は、チップの製造プロセスと診断装置の単一の供給源を作ることを目的としていた。

KLAインスツルメンツは1975年にケン・レヴィとボブ・アンダーソンによって設立され、チップの欠陥を特定するためのフォトマスク検査に重点を置いていた。その後、KLAはウェハー検査、ウェハー計測、および統合された検査・分析ソフトウェアへと製品ラインを拡大した。

一方、テンコールは1976年、チェコスロバキア出身の科学者で米国移民のカレル・ウルバネックが、同僚のジョン・シュワバッハと共に設立した。同社は当初、半導体膜層の厚さの精密測定に注力しており、1984年には粒子やその他の汚染を検出するためのレーザースキャン技術を開発した。また、欠陥レビューやデータ分析装置も開発していた。合併当時、両社の合計年間売上高は10億ドルを超えていた。

2019年1月10日、KLAテンコールは社名をKLAコーポレーションに変更すると発表した。社名変更は2019年7月に発効した。6月、KLAはミシガン州アナーバー近郊に第2の本社を開設する計画を発表した。この施設は2021年夏に開設予定で、500人から600人の新規採用を計画しており、その約50％がエンジニアとなる予定であった。この施設はミシガン大学との関係を持ち、自動車業界とのパートナーシップを支援すると報じられた。

2021年7月、同社は車載チップ向けの新しい検査製品を発表した。11月には、ミシガン州アナーバー近郊にKLAの新しい北米本社が開設された。この施設は23万平方フィートの広さを持ち、1,000人の従業員を収容できるように設計されている。

買収

1998年2月、ドイツのフライブルクを拠点とするNanopro GmbHを買収した。同社はウェハーの形状や厚さの測定に高度な干渉法技術を用いていた。同年4月には、半導体製造などの用途向けに走査型電子顕微鏡（SEM）システムを提供するマサチューセッツ州ベッドフォードのAmray, Inc.を買収した。6月には、画像アーカイブおよび検索システムの開発元であるカリフォルニア州サンノゼのVARSを買収した。11月には、オハイオ州ソロンの測定・計器会社ケースレー・インスツルメンツから酸化膜モニタリング製品ライン「Quantox」を買収した。12月には、Uniphase Corporationの子会社であるUltrapointeを買収した。

1999年12月、台湾の歩留まり分析ソフトウェアメーカーであるACME Systemsを買収した。

2000年2月、テキサス州オースティンを拠点とするリソグラフィ・モデリングおよび分析ソフトウェアの開発元、Finle Technologies, Inc.を買収した。3月には、親会社のObjectSpaceから、高度プロセス制御（APC）ソフトウェア開発元のFab Solutions（テキサス州オースティン）を買収した。

2001年、歩留まり管理およびプロセス制御会社のPhase Metrics, Inc.を買収した。

2004年、表面検査システムメーカーのCandela Instruments, Inc.およびInspex, Inc.のウェハー検査装置事業を買収した。

2006年、シリコンウェハー計測および関連機器のサプライヤーであるADE Corporationを買収した。

2007年、フォトリソグラフィおよびプラズマエッチング製品メーカーのOnWafer Technologies、温度モニタリング会社のSensArray Corporation、およびプロセス制御・計測会社のTherma-Wave Corporationを買収した。

2008年、試験・測定会社のICOS Vision Systems Corporation NV、およびVistec Semiconductor Systems, Inc.の微細構造検査装置（MIE）事業部門を買収した。

2010年、テクノロジー・ハードウェア会社のAmbios Technology, Inc.を買収した。

2014年、計算リソグラフィおよび検査会社のLuminescent Technologies, Inc.を買収した。

2017年、光学プロファイリングおよび検査会社のZeta Technologies Co. Ltd.を買収した。

2018年、キーサイト・テクノロジーからNano Indenter製品ラインを買収した。また、Nanomechanics Inc.とMicroVisionも買収した。

2018年3月、イスラエルのヤブネに拠点を置く自動光学検査装置ベンダーのオーボテックを約34億ドルで買収することに合意したと発表した。オーボテックは、MEMS、先進パッケージング、LED、高速RF、およびパワーマネジメントデバイス用のエッチング、PVD、CVDウェハー処理装置のメーカーであるウェールズ・ニューポートのSPTS Technologies Ltdも所有していた。

2019年2月には、オーボテックの買収が完了したと発表された。

2019年8月、KLAテンコールは半導体業界向けのプロセス制御ソフトウェアを専門とするドイツのソフトウェア会社Qoniac GmbHを買収した。

ストックオプションの違法なバックデーティング

2008年1月、KLAは、同社および一部の経営陣がストックオプションの付与日を違法に遡らせた（バックデーティング）という疑惑の解決のために6,500万ドルを支払った。米国証券取引委員会（SEC）は、「KLAは報告された財務結果を大幅に過大評価し、同社の報酬コストや財務パフォーマンスに関する正確な情報を投資家から奪った。公開会社が、このような行為は許されないと警告された後もなお、このような不正行為に従事することは特に問題である」と述べた。

KLA財団

KLA財団（英語: KLA Foundation、当初はKLAテンコール財団）は同社の慈善部門であり、2000年に設立された。KLA財団は、ミルピタス学区への寄付、アメリカ赤十字社、シリコンバレー・リーダーシップ・グループのCOVID-19援助連合など、KLAの従業員が居住するグローバルなコミュニティを支援し、利益をもたらしている。

== 脚註 ==